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IGBT 8英寸晶圆和封测EAP方案

发布时间:2023-01-16    浏览人数:1人查看

项目介绍

针对具备自动化接口能力的机台实施EAP系统,通过系统的整合,设备的高度自动化以及业务流程的精细化,实现了产线上机台最大化的防错控制和最大范围的自动采集生产数据。

案例结果:

a) 自动化生产:EAP通过检查批次、自动选择Recipe、启动或停止机台等操作,实现机台的自动化加工,减少人为失误,提升产品良率。

b) 机台远程管理:EAP直接与机台通信,远程管理机台并获取机台的实时状态、报警信息、log文件等机台内信息。

c) 生产数据自动采集:EAP可自动收集设备的数据(包括量测数据、机台数据、物料消耗数据等),减少数据收集时间,提供工艺、质量、设备分析所需的数据,为大数据分析提供基础。

d) 智能工厂CIM系统集成:EAP直接与MES、RMS、APS、SPC、EDA、R2R、FDC等其他CIM系统接口连接,从各系统中读取EAP所需数据,并及时反馈至各信息系统,保证账实相符、生产可追溯,搭建起系统间的数据桥梁;


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